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中國實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化 助力芯片制造
來源：新聞中心
發(fā)布時間：2021年03月18日 編輯：新聞中心
中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖
中新網(wǎng)北京3月17日電 (記者 孫自法)記者17日從中國電子科技集團有限公司(中國電科)獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。
中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖
中國電科介紹說，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。電科裝備連續(xù)突破大流強長壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印标P鍵技術，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28納米，已累計形成核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)中國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，將有效緩解中國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。
中國電科旗下電科裝備科技人員對研制成功的離子注入機進行相關測試。中國電科 供圖
中國電科表示，下一步，電科裝備將瞄準高端，緊跟先進工藝發(fā)展，加快推進適用于更先進工藝節(jié)點離子注入機的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
據(jù)了解，中國電科是中國軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)“國家隊”、國家戰(zhàn)略科技力量，擁有電子信息領域相對完備的科技創(chuàng)新體系。目前，中國電科旗下包括47家國家級研究院所、11家上市公司在內(nèi)的企事業(yè)單位500余家，員工20余萬名，并擁有35個國家級重點實驗室、研究中心和創(chuàng)新中心。
